უპირატესობები:
ტუმბოს ეს სერია კარგია მკაცრი გარემოს პირობებში (მაღალი ტემპერატურა, მტვერი და სხვა), სტაბილურია შესრულებით და ხანგრძლივი მომსახურების ვადით, ასევე მარტივი მოვლა და მოსახერხებელი ოპერაციაც.
პროგრამები:
ძირითადი პროგრამებია ინდუსტრიული გაჟონვის გამოვლენა, PVD, CVD, იონების იმპლანტაცია, ვაკუუმური ელექტრონული კომპონენტების წარმოება, დაბალი E მინა, ITO მინა, ოპტიკური საფარი, მზის უჯრედები, ელექტრონული სხივების შედუღება, ვაკუუმური ღუმელი და სხვა ინდუსტრიები
სპეციფიკაციები:
Flange (In | DN400 ISO-K | გაზი მთელ (sccm | N25500 ფუნტი |
Flange (Out) KF | DN100 | ის 4000 ფუნტი | |
სატუმბი სიჩქარე (ლ/წმ | N23500 ფუნტი | H23200 ფუნტი | |
ის 2650 ფუნტი | 2100 ფუნტი | ||
H21280 ფუნტი | ბრუნვის სიჩქარე (rpm) | 13500 | |
3200 ფუნტი | ამოწურვის დრო (წთ) | 18 | |
შეკუმშვის კოეფიციენტი | N210 ფუნტი8 | გაგრილების ტიპი, სტანდარტული | წყალი |
ის 10 ფუნტი3 | გაგრილების წყლის მოხმარება (ლ/წთ) | 1 | |
H210 ფუნტი2 | გაგრილების წყლის ტემპერატურა (℃ | 25 | |
10 :8 | დენის კავშირი: ძაბვა (V AC | DC24/AC220 | |
საბოლოო წნევა (Pa) | 6 × 10-6 | მაქს. ენერგიის მოხმარება (ვ) | 00 1100 |
მაქს. უწყვეტი წინა ვაკუუმური წნევა (Pa) | 100 | კონტროლერის მოდელი | FD-III |
მაქს. წინა ვაკუუმური წნევა | N2300 ფუნტი | წონა (კგ) | 130 |